Ахмедов, А.А., А.Р. Турсунов, and Ш.М. Тошбобоев. “ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР”. International Bulletin of Engineering and Technology 3, no. 6 (June 22, 2023): 252–257. Accessed January 18, 2026. https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853.