Ахмедов, А., А. Турсунов, and Ш. Тошбобоев. “ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР”. International Bulletin of Engineering and Technology, vol. 3, no. 6, June 2023, pp. 252-7, https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853.