А. Ахмедов, А. Турсунов, and Ш. Тошбобоев, “ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР”, ibet, vol. 3, no. 6, pp. 252–257, Jun. 2023.