Ахмедов, А., Турсунов , А. and Тошбобоев, Ш. (2023) “ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР”, International Bulletin of Engineering and Technology, 3(6), pp. 252–257. Available at: https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853 (Accessed: 18 January 2026).