Ахмедов, А.А., А.Р. Турсунов, and Ш.М. Тошбобоев. 2023. “ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР”. International Bulletin of Engineering and Technology 3 (6):252-57. https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853.