АХМЕДОВ, А.; ТУРСУНОВ , А.; ТОШБОБОЕВ, Ш. ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР. International Bulletin of Engineering and Technology, [S. l.], v. 3, n. 6, p. 252–257, 2023. Disponível em: https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853. Acesso em: 22 mar. 2026.