Ахмедов, А., Турсунов , А., & Тошбобоев, Ш. (2023). ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР. International Bulletin of Engineering and Technology, 3(6), 252–257. Retrieved from https://internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853