Ахмедов, А., Турсунов , А. and Тошбобоев, Ш. 2023. ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР. International Bulletin of Engineering and Technology. 3, 6 (Jun. 2023), 252–257.